中科昊海一期高纯电子气体项目于2021年成功投产，包括一套20Nm³/h氖氦精制装置和一套400Nm³/h氪氙精制装置，产品纯度达99.9995%，打破了国外技术垄断，有效缓解了高纯电子气体依赖进口的局面。二期高端绿色氢能项目于2023年成功投产，包含一套2000m³/h氢气纯化装置和1.5T/D氢气液化装置，主要产品高纯氢和液氢广泛应用于电子制造、加氢站等领域。三期电子特气项目正在调试中，其利用昊源化工尾气资源，采用合成、低温分离及提纯等技术，生产电子级高纯一氧化碳、二氧化碳、氨、甲烷及特种气体混配气，建成后将广泛应用于集成电路光刻机配套、OLED显示面板制造工艺、集成电路制造中的清洗工艺和蚀刻工艺等。
氪氙精制装置
氖氦精制装置